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我々の生活の基盘である半导体は、进化を続けています。この半导体の微细化や新材料开発には、特殊な光「贰鲍痴光※」が不可欠です。つい最近も、米国の最先端工场に高精细な贰鲍痴露光装置が导入されています。

日本の半导体产业は素材分野の新材料开発が强みであり、今后の开発にはこの贰鲍痴光が必须です。しかし贰鲍痴光を利用した研究开発は，海外の试験研究机関に頼っているのが现状です。これにより、输出规制による试料输送の长期化、照射にかかる高いコスト、海外へのノウハウ流出が生じ、产业竞争力低下が悬念されます。

そこで本学は、本年４月１日に九州大学１００％子会社として设立した「」を通じて、贰鲍痴光照射と解析评価サービスを提供する事业会社を新たに设立することとしました。新会社においては、贰鲍痴光の照射に加え、照射结果を解析评価可能な人材育成にも取り组み、来るべき本格的な贰鲍痴光时代の到来に対応します。

また、本学としては、より中长期的な研究开発课题に対応するため、新会社のサービスをテコに、半导体开発に関する共同研究?人材育成を一层活性化します。

※Extreme Ultraviolet light; 極端紫外光：半導体の製造や材料（フォトレジスト等）開発に不可欠

会社名       ＥＵＶフォトン株式会社
設立日       2024年7月29日
本社 　　　　福岡県福岡市
資本金       100万円
事業　　     EUV光照射及び解析評価、教育?人材育成?セミナー等

（今后のスケジュール）
7月29日　　　法人设立
8月26日　　　设立记念パーティー、顾客候补公司とのサービス、内容协议?具体化
2025年度中　照射サービス开始

• 半导体材料メーカー、素材メーカー
• デバイスメーカー
• 半导体製造装置メーカー　等

実用化贰鲍痴光源は、本学の冈田龙雄教授(现九州大学名誉教授)等が2005年に论文発表した技术を基盘としているなど、本学は、20年以上の蓄积により贰鲍痴光照射に必要な研究成果?ノウハウ?人材を拥することに加え、材料を解析评価する设备を多数保有しています。

このような条件が揃っている本学だからこそ、先端半导体の开発に不可欠な贰鲍痴光照射と解析评価を日本で唯一実施する新会社が设立できるといえます。